半導体関連

当社では石英温度コントロールバスやケミカル・ポンプなど、半導体関連の製品も多数取り扱っています。真空ピンセットとあわせて、ぜひご利用ください。


イムテック社製石英温度コントロールバス (日本代理店:株式会社ヒロテック)

1982年創業のイムテック社は、これまでに半導体産業で信頼ある製品を提供。とくに石英温度コントロールバスは、高品質と同社の技術力、そして清浄な環境で制作されており、長寿命・コストの軽減をお約束します。

石英スタティックバス

190℃まで昇温可能な高純度石英タンクです。コントローラーモデル#951によるP.I.Dコントロール。

  • 室温より190℃まで
  • 卓越した安定性と信頼性
  • 8" ウェハー(1個または2個のキャリアー)まですべての標準ウェハーサイズに対応
  • 特注品即適応
  • 標準コントローラーとコンパチブル
  • ファイアーポリッシュ石英表面処理
  • 特注高品質石英あり
石英スタティックバス

石英リサーキュレーションバス

QZシリーズの石英槽にケミカルリサーキュレーションを加えた、バス最適システムパフォーマンスが特長。外観は特許を取得した特殊デザインです。

  • 高純度モールドまたは溶接石英槽
  • 液面の問題緩和するための特許貯水機構
  • 毎分30リットルまでの流量のリサーキュレーションポンプで気泡の混入を防止
  • 特許を取得したフランジのデザインによりバスの熱のケースへの影響を軽減
  • 特許オーバーフロー用チューブあり(オプション)
  • 各種耐リークテフロン配管部分および高強度石英入口/ドレインあり
石英リサーキュレーションバス

石英ナイトライドバス

石英主体のナイトライドシステムは、最適条件のためのユニークなコントロールが特徴です。石英のカラーと蓋付クローズドシステムあり。

  • 純粋コントローラー、石英槽、コンデンサー、確実にシールされたフタの組み合わせにより、手動・自動運転時にフローコントロールと定量作動
  • コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給
  • SI3N4エッチ(ナイトライドエッチ)のもっとも有効で、信頼性と安定性に富んだシステム
石英ナイトライドバス

テフロン被覆ステンレスバス

ステンレススティールバスをテフロン被覆してあり、さまざまな薬品が使用できます。通常の使用での温度幅は40〜130℃。このバスではKOH、弗酸、王水など、石英バスでは使用できない薬液が使用可能です。

  • 高能率ヒーティング
  • 耐火性アルミナシリケート断熱材
  • 過熱防止センサー
  • 漏洩感知センサー
  • 薬液昇温による高能率プロセス
  • 難燃・自己消化性ポリプロピレン外装
  • 外装シールを守るフランジ構造
  • 稼動休止時間の減少
テフロン被覆ステンレスバス

アクアシール付き石英バス

特許技術アクアシールは、半永久的な耐薬品性があります。純粋/市水を流すことによってバス内部への酸の侵入を防ぎます。

  • 生産時間の向上
  • 稼動休止時間の減少
  • スペアパーツの在庫と輸送料の減少
  • 取扱いによる故障・修理費用の減少
アクアシール付き石英バス

石英インラインヒーター(ACCUHEAT)

  • インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター
  • 外装はテフロン(PTFE)を使用
  • 高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要
  • 耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2)
  • コンパクトサイズ。縦置き/横置き共に設置可能
  • 3KW、6KWタイプ有り
  • 24ヶ月保証
石英インラインヒーター(ACCUHEAT)

トレバー社製 高純度薬品用ケミカル・ポンプ (日本代理店:株式会社ヒロテック)

トレバー社は1979年からダイアフラムポンプのパイオニアとして高品質、清浄かつ高性能なポンプを提供しています。その製品は、半導体産業で求められる条件に適合しており、高い評価を受けています。

Purus20

  • 最高使用温度:120℃
  • 最大吐出圧力:0.55MPa
  • 最大吐出量:20L
  • 使い捨て設計
Purus20

MAXIM

マキシムポンプは腐食性のある薬液や、高温での使用に最適なダイアフラムポンプです。

  • 最高使用温度:180℃
  • 最大吐出圧力:0.55MPa
  • 最大吐出量:30LPM、50LPM
  • 2重のPTFEダイアフラムによる長寿命
  • 金属およびエラストマー○リングは一切使用していない
MAXIM

MAGNUM610&110

コンパクト設計ながら大流量を誇り、幅広い用途に使用できるポンプです。

  • 最高使用温度:120℃
  • 最大吐出圧力:0.41MPa
  • 最大吐出量:20LPM、36LPM
  • 2重のPFAダイアフラムによる長寿命
  • 接液部にはPFA/PTFEのみ使用
MAGNUM610&110

MAGNUM620

610を技術的に進化させたマキシムポンプの特徴を併せ持ったダイアフラムポンプです。

  • 最高使用温度:110℃
  • 最大吐出圧力:0.55MPa
  • 最大吐出量:45LPM
  • PTFEダイアフラム
  • 金属およびエラストマー○リングは一切使用していない。
MAGNUM620

MEGA960

MEGA960は大流量循環、または移送に最適なダイアフラムポンプです。

  • 最高使用温度:100℃
  • 最大吐出圧力:0.55MPa
  • 最大吐出量:95LPM
  • 2重のPFAダイアフラムによる長寿命
  • 高い揚程能力
MEGA960

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